Ion Beam Etching in SAW Filter Frequency Trimming读书笔记随着SAW滤波器的应用向5G、5G-advance的发展,在制造过程中准确的控制其中心频率及一致性变得越来越难,需要通过离子束刻蚀修频工艺实现SAW滤波器的频率的微调。2024-5-4